| ✖Długość źródła definiuje się jako całkowitą długość obserwowaną na złączu źródłowym MOSFET-u.ⓘ Długość źródła [Ds] |  |  | +10% -10% | 
| ✖Szerokość przejścia definiuje się jako wzrost szerokości przy wzroście napięcia dren-źródło, w wyniku czego obszar triody przechodzi do obszaru nasycenia.ⓘ Szerokość przejścia [W] |  |  | +10% -10% |