МОП-транзистор можно рассматривать как четырехполюсник с емкостями между каждой парой выводов. Емкость затвора включает внутреннюю составляющую (корпусу, истоку и стоку или только истоку, в зависимости от режима работы) и перекрывающиеся составляющие с истоком и стоком. Исток и сток имеют паразитную диффузионную емкость по отношению к телу.