प्रक्रिया-स्वतंत्र स्वरूपात विलंब व्यक्त करणे हे सहसा उपयुक्त ठरते जेणेकरून सर्किट्सची उत्पादन प्रक्रियेच्या वेगापेक्षा टोपोलॉजीच्या आधारे तुलना करता येईल. शिवाय, विलंबासाठी प्रक्रिया-स्वतंत्र मापनासह, एका प्रक्रियेत काम करताना प्राप्त झालेल्या सर्किट गतीचे ज्ञान नवीन प्रक्रियेकडे नेले जाऊ शकते.