| ✖Permittiviteit van de oxidelaag wordt gedefinieerd als het vermogen van een stof om elektrische energie op te slaan in een elektrisch veld.ⓘ Permittiviteit van de oxidelaag [εox] |  |  | +10% -10% | 
| ✖Poortbreedte verwijst naar de afstand tussen de rand van een metalen poortelektrode en het aangrenzende halfgeleidermateriaal in een CMOS.ⓘ Poortbreedte [Wg] |  |  | +10% -10% | 
| ✖Lengte van de poort is de maat of omvang van iets van begin tot eind.ⓘ Lengte van de poort [Lg] |  |  | +10% -10% | 
| ✖Ingangspoortcapaciteit in CMOS verwijst naar de capaciteit tussen de ingangsklemmen van een CMOS-circuit en het referentiepotentiaal (meestal aarde).ⓘ Ingangspoortcapaciteit [Cin] |  |  | +10% -10% |