Максимальная концентрация легирующей примеси Решение

ШАГ 0: Сводка предварительного расчета
Используемая формула
Максимальная концентрация легирующей примеси = Эталонная концентрация*exp(-Энергия активации твердой растворимости/([BoltZ]*Абсолютная температура))
Cs = Co*exp(-Es/([BoltZ]*Ta))
В этой формуле используются 1 Константы, 1 Функции, 4 Переменные
Используемые константы
[BoltZ] - постоянная Больцмана Значение, принятое как 1.38064852E-23
Используемые функции
exp - В показательной функции значение функции изменяется на постоянный коэффициент при каждом изменении единицы независимой переменной., exp(Number)
Используемые переменные
Максимальная концентрация легирующей примеси - (Измеряется в Электронов на кубический метр) - Максимальная концентрация легирующей примеси описывает, как концентрация атомов примеси в полупроводниковом материале экспоненциально уменьшается с увеличением температуры.
Эталонная концентрация - Эталонная концентрация относится к константе, которая служит эталонной или базовой концентрацией.
Энергия активации твердой растворимости - (Измеряется в Джоуль) - Энергия активации растворимости в твердом теле — параметр, характеризующий энергетический барьер внедрения атомов примеси в кристаллическую решетку полупроводникового материала.
Абсолютная температура - (Измеряется в Кельвин) - Абсолютная температура является мерой тепловой энергии в системе и измеряется в кельвинах.
ШАГ 1. Преобразование входов в базовый блок
Эталонная концентрация: 0.005 --> Конверсия не требуется
Энергия активации твердой растворимости: 1E-23 Джоуль --> 1E-23 Джоуль Конверсия не требуется
Абсолютная температура: 24.5 Кельвин --> 24.5 Кельвин Конверсия не требуется
ШАГ 2: Оцените формулу
Подстановка входных значений в формулу
Cs = Co*exp(-Es/([BoltZ]*Ta)) --> 0.005*exp(-1E-23/([BoltZ]*24.5))
Оценка ... ...
Cs = 0.00485434780101741
ШАГ 3: Преобразуйте результат в единицу вывода
0.00485434780101741 Электронов на кубический метр -->4.85434780101741E-09 Электронов на кубический сантиметр (Проверьте преобразование ​здесь)
ОКОНЧАТЕЛЬНЫЙ ОТВЕТ
4.85434780101741E-09 4.9E-9 Электронов на кубический сантиметр <-- Максимальная концентрация легирующей примеси
(Расчет завершен через 00.004 секунд)

Кредиты

Creator Image
Сделано банупракаш
Инженерный колледж Даянанда Сагар (ДСКЭ), Бангалор
банупракаш создал этот калькулятор и еще 50+!
Verifier Image
Проверено Сантош Ядав
Инженерный колледж Даянанды Сагара (ДСКЭ), Банглор
Сантош Ядав проверил этот калькулятор и еще 50+!

15 Изготовление МОП-ИС Калькуляторы

Напряжение точки переключения
​ Идти Напряжение точки переключения = (Напряжение питания+Пороговое напряжение PMOS+Пороговое напряжение NMOS*sqrt(Коэффициент усиления NMOS-транзистора/Коэффициент усиления PMOS-транзистора))/(1+sqrt(Коэффициент усиления NMOS-транзистора/Коэффициент усиления PMOS-транзистора))
Эффект тела в MOSFET
​ Идти Пороговое напряжение с подложкой = Пороговое напряжение с нулевым смещением тела+Параметр эффекта тела*(sqrt(2*Объемный потенциал Ферми+Напряжение, приложенное к телу)-sqrt(2*Объемный потенциал Ферми))
Концентрация донорской легирующей примеси
​ Идти Концентрация донорской легирующей примеси = (Ток насыщения*Длина транзистора)/([Charge-e]*Ширина транзистора*Электронная подвижность*Емкость слоя обеднения)
Ток стока MOSFET в области насыщения
​ Идти Ток стока = Параметр крутизны/2*(Напряжение источника затвора-Пороговое напряжение с нулевым смещением тела)^2*(1+Коэффициент модуляции длины канала*Напряжение источника стока)
Концентрация акцепторной примеси
​ Идти Концентрация акцепторной примеси = 1/(2*pi*Длина транзистора*Ширина транзистора*[Charge-e]*Мобильность отверстий*Емкость слоя обеднения)
Максимальная концентрация легирующей примеси
​ Идти Максимальная концентрация легирующей примеси = Эталонная концентрация*exp(-Энергия активации твердой растворимости/([BoltZ]*Абсолютная температура))
Время распространения
​ Идти Время распространения = 0.7*Количество проходных транзисторов*((Количество проходных транзисторов+1)/2)*Сопротивление в МОП-транзисторе*Емкость нагрузки
Плотность дрейфового тока, обусловленная свободными электронами
​ Идти Плотность дрейфового тока, обусловленная электронами = [Charge-e]*Электронная концентрация*Электронная подвижность*Напряженность электрического поля
Плотность дрейфового тока из-за дырок
​ Идти Плотность дрейфового тока из-за дырок = [Charge-e]*Концентрация дырок*Мобильность отверстий*Напряженность электрического поля
Сопротивление канала
​ Идти Сопротивление канала = Длина транзистора/Ширина транзистора*1/(Электронная подвижность*Плотность носителей)
Частота MOSFET с единичным коэффициентом усиления
​ Идти Частота единичного усиления в MOSFET = Крутизна МОП-транзистора/(Емкость источника затвора+Емкость стока затвора)
Критическое измерение
​ Идти Критическое измерение = Зависимая от процесса константа*Длина волны в фотолитографии/Числовая апертура
Глубина фокуса
​ Идти Глубина фокуса = Коэффициент пропорциональности*Длина волны в фотолитографии/(Числовая апертура^2)
Умереть на пластину
​ Идти Умереть на пластину = (pi*Диаметр пластины^2)/(4*Размер каждой матрицы)
Эквивалентная толщина оксида
​ Идти Эквивалентная толщина оксида = Толщина материала*(3.9/Диэлектрическая проницаемость материала)

Максимальная концентрация легирующей примеси формула

Максимальная концентрация легирующей примеси = Эталонная концентрация*exp(-Энергия активации твердой растворимости/([BoltZ]*Абсолютная температура))
Cs = Co*exp(-Es/([BoltZ]*Ta))

Где я могу найти значения энергии активации?

Экспериментальные значения энергии активации можно найти в учебниках по физике полупроводников, исследовательских работах и базах данных о свойствах материалов. Исследователи часто сообщают в литературе об E_s для конкретных материалов и легирующих добавок.

Let Others Know
Facebook
Twitter
Reddit
LinkedIn
Email
WhatsApp
Copied!