Диффузия источника — важнейший процесс в КМОП-технологии, имеющий множество применений. Он используется для уменьшения габаритов транзисторов, улучшения производительности последовательных цепей и увеличения общего быстродействия микросхем. Более того, диффузия источников облегчает интеграцию нескольких транзисторов на одном кристалле, что позволяет изготавливать сложные интегральные схемы с высокой плотностью размещения.