| ✖De dikte van de oxidelaag tox wordt bepaald tijdens de procestechnologie die wordt gebruikt om de MOSFET te vervaardigen.ⓘ Dikte van de oxidelaag [tox] |  |  | +10% -10% | 
| ✖Ingangspoortcapaciteit in CMOS verwijst naar de capaciteit tussen de ingangsklemmen van een CMOS-circuit en het referentiepotentiaal (meestal aarde).ⓘ Ingangspoortcapaciteit [Cin] |  |  | +10% -10% | 
| ✖Poortbreedte verwijst naar de afstand tussen de rand van een metalen poortelektrode en het aangrenzende halfgeleidermateriaal in een CMOS.ⓘ Poortbreedte [Wg] |  |  | +10% -10% | 
| ✖Lengte van de poort is de maat of omvang van iets van begin tot eind.ⓘ Lengte van de poort [Lg] |  |  | +10% -10% |