| ✖Die Oxidschichtdicke tox wird während der Prozesstechnologie bestimmt, die zur Herstellung des MOSFET verwendet wird.ⓘ Dicke der Oxidschicht [tox] |  |  | +10% -10% | 
| ✖Die Eingangs-Gate-Kapazität im CMOS bezieht sich auf die Kapazität zwischen den Eingangsanschlüssen einer CMOS-Schaltung und dem Referenzpotential (normalerweise Masse).ⓘ Eingangs-Gate-Kapazität [Cin] |  |  | +10% -10% | 
| ✖Die Gate-Breite bezieht sich auf den Abstand zwischen der Kante einer Metall-Gate-Elektrode und dem angrenzenden Halbleitermaterial in einem CMOS.ⓘ Torbreite [Wg] |  |  | +10% -10% | 
| ✖Die Länge eines Tors ist das Maß oder die Ausdehnung von etwas von einem Ende zum anderen.ⓘ Länge des Tors [Lg] |  |  | +10% -10% |