Épaisseur d'oxyde équivalente Solution

ÉTAPE 0: Résumé du pré-calcul
Formule utilisée
Épaisseur d'oxyde équivalente = Épaisseur du matériau*(3.9/Constante diélectrique du matériau)
EOT = thigh-k*(3.9/khigh-k)
Cette formule utilise 3 Variables
Variables utilisées
Épaisseur d'oxyde équivalente - (Mesuré en Mètre) - L'épaisseur d'oxyde équivalente est une mesure utilisée dans la technologie des semi-conducteurs pour caractériser les propriétés isolantes d'un diélectrique de grille dans un dispositif métal-oxyde-semi-conducteur (MOS).
Épaisseur du matériau - (Mesuré en Mètre) - L'épaisseur du matériau est l'épaisseur du matériau donné. Il fait référence à la dimension physique d'un objet mesurée perpendiculairement à sa surface.
Constante diélectrique du matériau - La constante diélectrique d'un matériau est une mesure de la capacité d'un matériau à stocker de l'énergie électrique dans un champ électrique.
ÉTAPE 1: Convertir les entrées en unité de base
Épaisseur du matériau: 8.5 Nanomètre --> 8.5E-09 Mètre (Vérifiez la conversion ​ici)
Constante diélectrique du matériau: 2.26 --> Aucune conversion requise
ÉTAPE 2: Évaluer la formule
Remplacement des valeurs d'entrée dans la formule
EOT = thigh-k*(3.9/khigh-k) --> 8.5E-09*(3.9/2.26)
Évaluer ... ...
EOT = 1.46681415929204E-08
ÉTAPE 3: Convertir le résultat en unité de sortie
1.46681415929204E-08 Mètre -->14.6681415929204 Nanomètre (Vérifiez la conversion ​ici)
RÉPONSE FINALE
14.6681415929204 14.66814 Nanomètre <-- Épaisseur d'oxyde équivalente
(Calcul effectué en 00.004 secondes)

Crédits

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Créé par banuprakash
Collège d'ingénierie Dayananda Sagar (DSCE), Bangalore
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Vérifié par Santhosh Yadav
Collège d'ingénierie Dayananda Sagar (DSCE), Banglore
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15 Fabrication de circuits intégrés MOS Calculatrices

Tension du point de commutation
​ Aller Tension du point de commutation = (Tension d'alimentation+Tension de seuil PMOS+Tension de seuil NMOS*sqrt(Gain du transistor NMOS/Gain des transistors PMOS))/(1+sqrt(Gain du transistor NMOS/Gain des transistors PMOS))
Effet corporel dans MOSFET
​ Aller Tension de seuil avec substrat = Tension de seuil avec polarisation de corps nulle+Paramètre d'effet corporel*(sqrt(2*Potentiel Fermi en vrac+Tension appliquée au corps)-sqrt(2*Potentiel Fermi en vrac))
Courant de drain du MOSFET dans la région de saturation
​ Aller Courant de vidange = Paramètre de transconductance/2*(Tension de source de porte-Tension de seuil avec polarisation de corps nulle)^2*(1+Facteur de modulation de longueur de canal*Tension de source de drain)
Concentration de dopant du donneur
​ Aller Concentration de dopant du donneur = (Courant de saturation*Longueur du transistor)/([Charge-e]*Largeur du transistor*Mobilité électronique*Capacité de la couche d'épuisement)
Concentration de dopant accepteur
​ Aller Concentration de dopant accepteur = 1/(2*pi*Longueur du transistor*Largeur du transistor*[Charge-e]*Mobilité des trous*Capacité de la couche d'épuisement)
Concentration maximale de dopant
​ Aller Concentration maximale de dopant = Concentration de référence*exp(-Énergie d'activation pour la solubilité solide/([BoltZ]*Température absolue))
Densité de courant de dérive due aux électrons libres
​ Aller Densité de courant de dérive due aux électrons = [Charge-e]*Concentration d'électrons*Mobilité électronique*Intensité du champ électrique
Temps de propagation
​ Aller Temps de propagation = 0.7*Nombre de transistors passants*((Nombre de transistors passants+1)/2)*Résistance dans MOSFET*Capacité de charge
Densité du courant de dérive due aux trous
​ Aller Densité du courant de dérive due aux trous = [Charge-e]*Concentration des trous*Mobilité des trous*Intensité du champ électrique
Résistance du canal
​ Aller Résistance du canal = Longueur du transistor/Largeur du transistor*1/(Mobilité électronique*Densité des porteurs)
Fréquence de gain unitaire MOSFET
​ Aller Fréquence de gain unitaire dans MOSFET = Transconductance dans MOSFET/(Capacité de la source de porte+Capacité de drainage de porte)
Profondeur de mise au point
​ Aller Profondeur de mise au point = Facteur de proportionnalité*Longueur d'onde en photolithographie/(Ouverture numérique^2)
Dimension critique
​ Aller Dimension critique = Constante dépendante du processus*Longueur d'onde en photolithographie/Ouverture numérique
Matrice par tranche
​ Aller Matrice par tranche = (pi*Diamètre de la plaquette^2)/(4*Taille de chaque matrice)
Épaisseur d'oxyde équivalente
​ Aller Épaisseur d'oxyde équivalente = Épaisseur du matériau*(3.9/Constante diélectrique du matériau)

Épaisseur d'oxyde équivalente Formule

Épaisseur d'oxyde équivalente = Épaisseur du matériau*(3.9/Constante diélectrique du matériau)
EOT = thigh-k*(3.9/khigh-k)
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