गंभीर परिमाण उपाय

चरण 0: पूर्व-गणन सारांश
फॉर्म्युला वापरले जाते
गंभीर परिमाण = प्रक्रिया अवलंबित स्थिरांक*फोटोलिथोग्राफी मध्ये तरंगलांबी/संख्यात्मक छिद्र
CD = k1*λl/NA
हे सूत्र 4 व्हेरिएबल्स वापरते
व्हेरिएबल्स वापरलेले
गंभीर परिमाण - (मध्ये मोजली मीटर) - सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमधील गंभीर परिमाण म्हणजे दिलेल्या प्रक्रियेतील सर्वात लहान वैशिष्ट्य आकार किंवा सर्वात लहान मोजता येणारा आकार.
प्रक्रिया अवलंबित स्थिरांक - प्रोसेस डिपेंडेंट कॉन्स्टंट हे पॅरामीटर किंवा मूल्याचा संदर्भ देते जे फॅब्रिकेशन प्रक्रियेचे विशिष्ट पैलू दर्शवते आणि अर्धसंवाहक उपकरणांच्या कार्यक्षमतेवर महत्त्वपूर्ण प्रभाव पाडते.
फोटोलिथोग्राफी मध्ये तरंगलांबी - (मध्ये मोजली मीटर) - फोटोलिथोग्राफी मधील तरंगलांबी अर्धसंवाहक फॅब्रिकेशन प्रक्रियेदरम्यान नमुना अर्धसंवाहक वेफर्ससाठी कार्यरत इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक रेडिएशनच्या विशिष्ट श्रेणीचा संदर्भ देते.
संख्यात्मक छिद्र - ऑप्टिकल सिस्टमचे संख्यात्मक छिद्र हे ऑप्टिकल सिस्टमच्या क्षमतेचे वर्णन करण्यासाठी ऑप्टिक्समध्ये वापरलेले पॅरामीटर आहे. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग आणि फोटोलिथोग्राफीच्या संदर्भात.
चरण 1: इनपुट ला बेस युनिटमध्ये रूपांतरित करा
प्रक्रिया अवलंबित स्थिरांक: 1.56 --> कोणतेही रूपांतरण आवश्यक नाही
फोटोलिथोग्राफी मध्ये तरंगलांबी: 223 नॅनोमीटर --> 2.23E-07 मीटर (रूपांतरण तपासा ​येथे)
संख्यात्मक छिद्र: 0.717 --> कोणतेही रूपांतरण आवश्यक नाही
चरण 2: फॉर्म्युलाचे मूल्यांकन करा
फॉर्म्युलामध्ये इनपुट व्हॅल्यूजची स्थापना करणे
CD = k1l/NA --> 1.56*2.23E-07/0.717
मूल्यांकन करत आहे ... ...
CD = 4.85188284518829E-07
चरण 3: निकाल आउटपुटच्या युनिटमध्ये रूपांतरित करा
4.85188284518829E-07 मीटर -->485.188284518829 नॅनोमीटर (रूपांतरण तपासा ​येथे)
अंतिम उत्तर
485.188284518829 485.1883 नॅनोमीटर <-- गंभीर परिमाण
(गणना 00.004 सेकंदात पूर्ण झाली)

जमा

Creator Image
ने निर्मित बानुप्रकाश
दयानंद सागर अभियांत्रिकी महाविद्यालय (DSCE), बंगलोर
बानुप्रकाश यांनी हे कॅल्क्युलेटर आणि 50+ अधिक कॅल्क्युलेटर तयार केले आहेत!
Verifier Image
द्वारे सत्यापित संतोष यादव
दयानंद सागर अभियांत्रिकी महाविद्यालय (DSCE), बंगलोर
संतोष यादव यानी हे कॅल्क्युलेटर आणि 50+ अधिक कॅल्क्युलेटर सत्यापित केले आहेत।

15 एमओएस आयसी फॅब्रिकेशन कॅल्क्युलेटर

स्विचिंग पॉइंट व्होल्टेज
​ जा स्विचिंग पॉइंट व्होल्टेज = (पुरवठा व्होल्टेज+पीएमओएस थ्रेशोल्ड व्होल्टेज+NMOS थ्रेशोल्ड व्होल्टेज*sqrt(NMOS ट्रान्झिस्टर लाभ/पीएमओएस ट्रान्झिस्टर गेन))/(1+sqrt(NMOS ट्रान्झिस्टर लाभ/पीएमओएस ट्रान्झिस्टर गेन))
MOSFET मध्ये शरीराचा प्रभाव
​ जा सब्सट्रेटसह थ्रेशोल्ड व्होल्टेज = शून्य शरीर पूर्वाग्रह सह थ्रेशोल्ड व्होल्टेज+बॉडी इफेक्ट पॅरामीटर*(sqrt(2*बल्क फर्मी पोटेंशियल+शरीरावर व्होल्टेज लागू)-sqrt(2*बल्क फर्मी पोटेंशियल))
दाता डोपंट एकाग्रता
​ जा दाता डोपंट एकाग्रता = (संपृक्तता वर्तमान*ट्रान्झिस्टरची लांबी)/([Charge-e]*ट्रान्झिस्टरची रुंदी*इलेक्ट्रॉन गतिशीलता*डिप्लेशन लेयर कॅपेसिटन्स)
संपृक्तता प्रदेशात MOSFET चा प्रवाह प्रवाह
​ जा ड्रेन करंट = ट्रान्सकंडक्टन्स पॅरामीटर/2*(गेट स्त्रोत व्होल्टेज-शून्य शरीर पूर्वाग्रह सह थ्रेशोल्ड व्होल्टेज)^2*(1+चॅनेल लांबी मॉड्युलेशन फॅक्टर*ड्रेन स्त्रोत व्होल्टेज)
स्वीकारणारा डोपेंट एकाग्रता
​ जा स्वीकारणारा डोपेंट एकाग्रता = 1/(2*pi*ट्रान्झिस्टरची लांबी*ट्रान्झिस्टरची रुंदी*[Charge-e]*भोक गतिशीलता*डिप्लेशन लेयर कॅपेसिटन्स)
जास्तीत जास्त डोपेंट एकाग्रता
​ जा जास्तीत जास्त डोपेंट एकाग्रता = संदर्भ एकाग्रता*exp(-घन विद्राव्यतेसाठी सक्रियता ऊर्जा/([BoltZ]*परिपूर्ण तापमान))
प्रसार वेळ
​ जा प्रसार वेळ = 0.7*पास ट्रान्झिस्टरची संख्या*((पास ट्रान्झिस्टरची संख्या+1)/2)*MOSFET मध्ये प्रतिकार*लोड कॅपेसिटन्स
मुक्त इलेक्ट्रॉन्समुळे प्रवाही घनता
​ जा इलेक्ट्रॉन्समुळे प्रवाही घनता = [Charge-e]*इलेक्ट्रॉन एकाग्रता*इलेक्ट्रॉन गतिशीलता*इलेक्ट्रिक फील्ड तीव्रता
छिद्रांमुळे प्रवाहाची घनता वाहते
​ जा छिद्रांमुळे प्रवाहाची घनता वाहते = [Charge-e]*भोक एकाग्रता*भोक गतिशीलता*इलेक्ट्रिक फील्ड तीव्रता
चॅनेल प्रतिकार
​ जा चॅनेल प्रतिकार = ट्रान्झिस्टरची लांबी/ट्रान्झिस्टरची रुंदी*1/(इलेक्ट्रॉन गतिशीलता*वाहक घनता)
MOSFET युनिटी-गेन वारंवारता
​ जा MOSFET मध्ये युनिटी गेन वारंवारता = MOSFET मध्ये ट्रान्सकंडक्टन्स/(गेट सोर्स कॅपेसिटन्स+गेट ड्रेन कॅपेसिटन्स)
गंभीर परिमाण
​ जा गंभीर परिमाण = प्रक्रिया अवलंबित स्थिरांक*फोटोलिथोग्राफी मध्ये तरंगलांबी/संख्यात्मक छिद्र
फोकसची खोली
​ जा फोकसची खोली = आनुपातिकता घटक*फोटोलिथोग्राफी मध्ये तरंगलांबी/(संख्यात्मक छिद्र^2)
प्रति वेफर मरणे
​ जा डाई प्रति वेफर = (pi*वेफर व्यास^2)/(4*प्रत्येक डाईचा आकार)
समतुल्य ऑक्साईड जाडी
​ जा समतुल्य ऑक्साईड जाडी = सामग्रीची जाडी*(3.9/साहित्याचा डायलेक्ट्रिक स्थिरांक)

गंभीर परिमाण सुत्र

गंभीर परिमाण = प्रक्रिया अवलंबित स्थिरांक*फोटोलिथोग्राफी मध्ये तरंगलांबी/संख्यात्मक छिद्र
CD = k1*λl/NA
Let Others Know
Facebook
Twitter
Reddit
LinkedIn
Email
WhatsApp
Copied!